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本文件描述了石英挠性加速度计伺服电路(以下简称“电路”)参数测试方法。本文件适...
2024-09-29

本文件规定了晶圆键合后键合强度的测量方法,适用于硅-硅共熔键合、硅-玻璃阳极键...
2024-08-12

本文件规定了利用柱状试样测量微尺寸单元与衬底间黏结强度的试验方法。本文件适用...
2024-08-12

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2024-08-01

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2024-08-01

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。 ...
2024-08-01
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