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本文件描述了石英挠性加速度计伺服电路(以下简称“电路”)参数测试方法。本文件适...
2024-09-29

本规范适用于系统集成者、集成电路IP(Intellectual Property Core,以下简称IP)开发...
2024-09-28

本文件规定了晶圆键合后键合强度的测量方法,适用于硅-硅共熔键合、硅-玻璃阳极键...
2024-08-12

本文件规定了利用柱状试样测量微尺寸单元与衬底间黏结强度的试验方法。本文件适用...
2024-08-12

本标准规定了谐振式传感器中MENS谐振敏感元件非线性振动特性参数的测试方法。 本...
2024-08-01

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方...
2024-08-01

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。 ...
2024-08-01

本标准规定了纳米尺度相变存储单元读写擦参数的晶圆测试规范,其测试结果可用于表...
2024-07-31
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