SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范.rar

本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。标准编号：SJ/T 11275-2002 
标准名称:卧式液相外延系统通用规范 
英文名称:Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system 
标准状态：现行 
发布日期：2002-10-30 
实施日期：2003-03-01 
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八所