本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。
本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。
分子式:HCl。
相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。标准编号：GB/T 14602-2014
标准名称:电子工业用气体 氯化氢
英文名称:Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
标准状态：现行
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草人：张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任
起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司
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