SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。标准编号：SJ/T 11552-2015 
标准名称:以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量 
标准状态：现行 
发布日期：2015-10-10 
实施日期：2016-04-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部