SH/T 1493-2015 碳四烯烃中微量羰基化合物含量的测定 分光光度法

本标准规定了用二次离子质谱法（SIMS）对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。标准编号：SJ/T 11493-2015 
标准名称:硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法 
标准状态：已废止 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部