JB/T 8946-2010 真空离子镀膜设备

本标准规定了真空离子镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备；电子束蒸发离子镀膜设备；磁控溅射离子镀膜设备；上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。标准编号：JB/T 8946-2010 
标准名称:真空离子镀膜设备 
英文名称:Vacuum ion coating plant 
标准状态：现行 
发布日期：2010-02-11 
实施日期：2010-07-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部 
归口单位：全国真空技术标委会 
起草单位：沈阳北宇真空设备厂;沈阳真空技术研究所