SJ/T 10535-1994 半导体器件用钨舟

本标准规定了半导体器件用钨舟的牌号、型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于耐高温、高纯度、高密度的钨板(片)材制作的各种形状的钨舟及工装舟皿。标准编号：SJ/T 10535-1994 
标准名称:半导体器件用钨舟 
英文名称:Tungsten boat for semiconductor devices 
标准状态：已废止 
发布日期：1994-08-08 
实施日期：1994-12-01 
发布部门：中华人民共和国电子工业部 
归口单位：电子工业部标准化研究所 
起草人：候伍满、韩艳芬、茹士臻 
起草单位：七四五厂、电子工业部标准化所