JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。
本标准适用于普通型式的溅射离子泵。标准编号：JB/T 4081-2011 
标准名称:真空技术 溅射离子泵 
英文名称:Vacuum technology － Sputter-ion pumps 
标准状态：现行 
发布日期：2011-12-20 
实施日期：2012-04-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部 
归口单位：全国真空技术标委会 
起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所