芯片制造：半导体工艺制程实用教程（第五版）

 

基本信息： 

【作　者】韩郑生编著 

【丛书名】国外电子与通信教材系列 

【形态项】 387 

【出版项】 北京：电子工业出版社 , 2010.08 

【ISBN号】978-7-121-11372-7 

【中图法分类号】TN430.5 

【原书定价】55.00 

【主题词】芯片-半导体工艺-教材-芯片-半导体工艺 

【参考文献格式】 韩郑生编著. 芯片制造 半导体工艺制程实用教程 第5版. 北京：电子工业出版社, 2010.08. 

内容提要: 

本书是一部介绍半导体集成电路和器件技术的专业书籍。其英文版在半导体领域享有很高的声誉，被列为业界最畅销的书籍之一，第五版的出版就是最好的证明。本书的范围包括半导体工艺的每个阶段，从原材料制备到封装、测试以及传统和现代工艺。每章包含有习题和复习总结，并辅以丰富的术语表。本书主要特点是简洁明了，避开了复杂的数学理论，非常便于读者理解。本书与时俱进地加入了半导体业界的最新成果，可使读者了解工艺技术发展的最新趋势。