全自动晶圆显影机

全自动晶圆显影机由SolidWorks软件设计，涂胶/显影群组系统是通用的高产出晶圆处理系统，配置涂胶机、显影机、蒸汽底漆、HPO、冷却板等。涂胶/显影群组系统可用于处理大量的光阻和光敏聚合物。其精密的系统软件以及可靠的硬件配置使用户可在各种烘烤温度下对加热板进行编程并同时对晶圆进行涂底、涂胶和显影。该系统扩展性强，可满足业务拓展或业务流程需要。