《薄膜物理与技术》PPT课件 赵晓辉 电子科技大学

 
课件内容： 
绪论 
了解薄膜的基本概念、制备方法和主要应用。 
1.1 薄膜的定义 
1.2 薄膜的制备方法及应用 
真空 
理解真空的概念和基本物理特性。掌握真空获得和测量的方法。 
2.1 真空 
2.2 稀薄气体的基本性质 
2.3 真空的获得 
2.4 真空的测量 
蒸发 
理解点蒸发源和小平面蒸发源的膜厚分布特征。解真空蒸发镀膜的原理及基本过程，掌握饱和蒸汽压、蒸发速度、薄膜纯度以及合金蒸发的成分变化情况 
3.1 蒸发的基本概念 
3.2 蒸发的膜厚分布 
3.3 蒸发方法简介 
溅射 
掌握溅射的基本概念和物理机制，理解溅射的作用及用途，辉光放电的原理及其空间分布特性，溅射率的影响因素，了解磁控溅射、射频溅射的原理和特点。 
4.1 溅射与等离子体 
4.2 溅射特性 
4.3 溅射过程 
4.4 射频溅射与磁控溅射 
化学气相沉积 
掌握化学气相沉积法（CVD）的基本原理、过程、特点及化学气相沉积法制备薄膜的装置和类型。 
5.1 CVD的化学反应类型 
5.2 CVD的反应法则 
5.3 CVD装置及类型 
溶液镀膜法 
掌握溶胶-凝胶法、LB膜的概念、制备原理及特点。 理解化学镀、阳极氧化、电镀法的原理。 
6.1 溶胶凝胶法和LB膜 
6.2 阳极氧化、电镀、化学镀 
薄膜的生长及结构 
掌握薄膜生长的基本过程及成核理论。掌握薄膜生长模式和连续薄膜形成机制。了解不同结晶类型薄膜的XRD谱线和电子衍射花样，理解薄膜外延生长、晶格失配度及应力等概念。  
7.1 薄膜的生长过程 
7.2 薄膜成核理论 
7.3 连续薄膜的形成、薄膜结构及缺陷 
薄膜的表征方法 
理解薄膜分析方法的基本原理。掌握薄膜厚度、成分、结构等的分析方法。 
8.1 薄膜厚度测试 
8.2 薄膜形貌及结构表征