SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

本标准规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。标准编号：SJ/T 11502-2015 
标准名称:碳化硅单晶抛光片规范 
标准状态：已废止 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部