SJ/T 11494-2015 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。标准编号：SJ/T 11494-2015 
标准名称:硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法 
标准状态：现行 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部