纳米压印技术 2012年版

 

基本信息： 

【作　者】周伟民，张静，刘彥伯，张剑平编著 

【形态项】 255 

【出版项】 北京：科学出版社 , 2012.01 

【ISBN号】7-03-032559-4 

【中图法分类号】TN4 

【原书定价】68.00 

【主题词】纳米材料-应用-微电子技术 

【参考文献格式】 周伟民，张静，刘彥伯，张剑平编著. 纳米压印技术. 北京：科学出版社, 2012.01. 

内容提要: 

近年来，纳米压印技术迅猛发展，引起业界广泛关注。本书是基于近年来纳米压印研究成果编写而成的。本书主要从以下几个方面来介绍：首先简单介绍纳米压印技术的研究现状，接下来系统地介绍了压印模板的制备、压印模板的处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等，讲清了纳米……