HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法

本文件规定了硅片切割废液（浆）的组成、处理处置方法、环保排放要求。
本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液（浆）的处理处置。标准编号：HG/T 5962-2021 
标准名称:硅片切割废液处理处置方法 
标准状态：现行 
发布日期：2021-08-21 
实施日期：2022-02-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部