SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

本标准规定了集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液的技术指标和检测方法。标准编号：SJ/T 11507-2015 
标准名称:集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液 
标准状态：现行 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部