SJ/T 11490-2015 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法

本标准规定了低位错密度砷化镓（GaAs）抛光片腐蚀坑密度（EPD）的测量方法。标准编号：SJ/T 11490-2015 
标准名称:低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法 
标准状态：现行 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部