多晶硅与硅片生产技术

 

基本信息： 

【作　者】梁宗存，沈辉，史珺等编著 

【形态项】 204 

【出版项】 北京：化学工业出版社 , 2014.01 

【ISBN号】978-7-122-18869-4 

【中图法分类号】TN304.1 

【原书定价】68.00 

【主题词】半导体材料-硅-生产工艺 

【参考文献格式】 梁宗存，沈辉，史珺等编著. 多晶硅与硅片生产技术. 北京：化学工业出版社, 2014.01. 

内容提要: 

本书首先介绍了晶体硅的物理特性、太阳电池基本结构和标准电池工艺；并在介绍多晶硅原料制备原理、硅源化合物材料性能和制备基础上，着重介绍高纯多晶硅和太阳级多晶硅的制备与各种提纯生产工艺；最后，详细阐述了硅的晶体生长和硅片的生产工艺。