本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。
本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝(以下简称高纯氧化铝),其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧化铝可参照本标准执行。标准编号:GB/T 34213-2017
标准名称:蓝宝石衬底用高纯氧化铝
英文名称:High purity alumina for sapphire substrate
标准状态:已作废
发布日期:2017-09-07
实施日期:2018-06-01
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
起草人:钱幼平、熊洲、唐大林、薛抗美、黄修康、侯龙超、张强
起草单位:四川鑫通新材料有限责任公司、江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、四川鑫炬新兴新光源材料有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司
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