SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

本标准规定了用二次离子质谱法（SIMS）对重掺硅衬底单晶体中氧浓度总量的测试方法。标准编号：SJ/T 11498-2015 
标准名称:重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法 
标准状态：现行 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部