SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

本标准规定了用表面轮廓仪和原子力显微镜测定碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的方法。标准编号：SJ/T 11503-2015 
标准名称:碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 
标准状态：现行 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部