SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。标准编号：SJ/T 11491-2015 
标准名称:短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量 
标准状态：现行 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部