SJ/T 11487-2015 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法

本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的非接触式测量方法。标准编号：SJ/T 11487-2015 
标准名称:半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 
标准状态：现行 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部