SJ/T 11499-2015 碳化硅单晶电学性能的测试方法

本标准规定了利用范德堡法测试6H、4H等晶型碳化硅单晶的导电类型、电阻率、迁移率、载流子浓度的方法。标准编号：SJ/T 11499-2015 
标准名称:碳化硅单晶电学性能的测试方法 
标准状态：已废止 
发布日期：2015-04-30 
实施日期：2015-10-01 
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部