硅集成电路工艺基础 第二版

 

基本信息： 

【作　者】关旭东编著 

【形态项】 305 

【出版项】 北京：北京大学出版社 , 2003.10 

【ISBN号】7-301-06507-8 

【中图法分类号】TN432 

【原书定价】28.00 

【主题词】硅栅MOS集成电路(学科: 高等教育) 硅栅MOS集成电路 

【参考文献格式】 关旭东编著. 硅集成电路工艺基础. 北京：北京大学出版社, 2003.10. 

内容提要: 

普通高等教育“十五”国家级规划教材:本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。