本标准规定了纳米尺度相变存储单元读写擦参数的晶圆测试规范,其测试结果可用于表征相变存储材料或器件的电学可操作性能。本标准适用于以硫系化合物为主要原料,基于半导体晶圆工艺加工制造的电极尺度小于100 nm的相变存储单元,100 nm~300 nm的相变存储单元也可参照本标准执行。本标准不适用于包含外围驱动电路的存储单元。标准编号:GB/T 33657-2017
标准名称:纳米技术 晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范
英文名称:Nanotechnologies—Electrical operating parameter test specification of wafer level nano-scale phase change memory cells
标准状态:现行
发布日期:2017-05-12
实施日期:2017-12-01
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
起草人:陈一峰、陈小刚、宋志棠
起草单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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