本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%～100%。标准编号：YS/T 983-2014
标准名称:多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
英文名称:Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
标准状态：现行
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草人：敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽
起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司等
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