本标准规定了瓶装电子工业用气体—三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。标准编号：GB/T 21287-2007
标准名称:电子工业用气体三氟化氮
英文名称:Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride
标准状态：已作废
发布日期：2007-12-14
实施日期：2008-07-01
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1)
起草人：余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠
起草单位：湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所、核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院等
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