SN/T 4893-2017 进出口食用动物中铅、镉、砷、汞的测定 电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）法

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。
本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1:10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MENS微结构。标准编号：GB/T 34893-2017 
标准名称:微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 
英文名称:Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer 
标准状态：现行 
发布日期：2017-11-01 
实施日期：2018-05-01 
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) 
起草人：胡晓东、郭彤、于振毅、李海斌、程红兵、裘安萍、崔波、朱悦 
起草单位：天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学中国电子科技集团公司第十三研究所