纳米科学与技术 金刚石膜制备与应用 上卷
作者： 吕反修 主编
出版时间：2014年版
丛编项：纳米科学与技术
内容简介
《金刚石膜制备与应用（上）》比较全面、系统、深入地论述了化学气相沉积（CVD）金刚石膜的制备、组织结构和性能表征，金刚石膜化学气相沉积理论，以及在电学（电子学）、热学、光学、声学、电化学、力学等领域的应用，在高超声速、外太空、核和极端摩擦磨损环境下众多高新技术应用研究进展和市场前景。本书分六篇，共29章，第一篇，金刚石膜的制备；第二篇，金刚石膜组织结构和性能表征；第三篇，金刚石膜沉积理论；第四篇，金刚石膜的应用；第五篇，纳米金刚石膜制备与应用；第六篇，金刚石相关材料。
目录
《纳米科学与技术》丛书序
前言
第一篇 金刚石膜的制备
第1章 化学气相沉积金刚石膜概论
第2章 热丝CVD
第3章 微波等离子体CVD金刚石膜沉积技术
第4章 直流电弧等离子体喷射CVD
第5章 其他制备方法
第6章 金刚石膜外延生长
第7章 金刚石膜控制掺杂
第二篇 金刚石膜组织结构和性能表征
第8章 金刚石膜组织结构表征方法
第9章 金刚石薄膜表面性能
第10章 金刚石薄膜的电学性能
第11章 金刚石热学性质及应用
第12章 金刚石膜力学性能
第13章 金刚石膜光学性能
第三篇 金刚石膜沉积理论
第14章 金刚石膜化学气相沉积理论
第15章 等离子体模拟与诊断
附录 缩略语
索引
彩图
第四篇 金刚石膜的应用
第16章 金刚石膜的加工
第17章 金刚石薄膜涂层硬质合金工具
第18章 金刚石薄膜电学应用
第19章 金刚石膜的电化学应用
第20章 金刚石膜光学应用
第21章 声学应用
第22章 金刚石膜在极高能量密度环境中的应用前景
第23章 CVD金刚石膜市场分析
第五篇 纳米金刚石膜制备与应用
第24章 纳米金刚石的制备
第25章 纳米金刚石的特性与应用
第六篇 金刚石相关材料
第26章 类金刚石薄膜制备及应用
第27章 立方氮化硼薄膜
第28章 氮化碳薄膜
第29章 新型纳米碳材料
附录 缩略语
索引
彩图