MEMS可靠性 [（美）哈策尔，（美）席尔瓦] 2012年版

 

基本信息： 

【作　者】（美）哈策尔，（美）席尔瓦 

【丛书名】国外电子与通信教材系列 

【形态项】 220 

【出版项】 北京：电子工业出版社 , 2012.11 

【ISBN号】978-7-121-18805-3 

【中图法分类号】TN4 

【原书定价】55.00 

【主题词】微电子技术-可靠性-高等学校-教材 

【参考文献格式】 （美）哈策尔，（美）席尔瓦. MEMS可靠性. 北京：电子工业出版社, 2012.11. 

内容提要: 

本书是关于MEMS可靠性的一本专著，主要内容包括：用于寿命预测的可靠性统计理论，MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式，MEMS在使用中的失效模式，MEMS的失效根源及分析，MEMS的试验和鉴定标准，以及提升MEMS可靠性的工具和技术。本书的几位作者在MEMS可靠性方面拥有多年的学术研究经验和工业生产经验，内容具有较高的参考价值。