射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
作者：张海霞，缪雯，方东明 著
出版时间：2014年版
内容简介
射频微机电系统技术是微机电系统的重要组成部分，本书主要从理论、设计、加工、封装和应用等方面介绍射频微机电系统器件与系统，结合作者及其团队近年来在相关领域的研究成果，详细分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等，为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。本书可作为微米纳米技术领域高年级本科生、研究生和教师的参考用书，并可供相关的科技人员参考。
目录
《微纳制造的基础研究学术著作丛书》序
前言
第一章 RF MEMS
1.1 MEMS概述
1.2 RF MEMS简介
1.3 RF MEMS发展历史
1.4 RF MEMS常用工艺
1.4.1 体硅工艺
1.4.2 表面硅工艺
1.5 RF MEMS应用
1.5.1 在可重构电路中的应用
1.5.2 在手提式无线系统中的应用
1.5.3 在基站中的应用
1.5.4 在无线能量传输中的应用
参考文献
第二章 RF MEMS设计与仿真
2.1 ANSYS
2.1.1 主要功能
2.1.2 分析实例：平行板电容
2.2 CoventorWare
2.2.1 主要功能
2.2.2 分析实例：可调电容
2.3 IntelliSuite
2.3.1 主要功能
2.3.2 分析实例：RF开关
2.4 HFSS
2.4.1 主要功能
2.4.2 分析实例：矩形波导腔体天线
2.5 CSTMicrowave Studio
2.5.1 主要功能
……
第三章 RF MEMS传输线
第四章 RF MEMS电感
第五章 RF MEMS可变电容
第六章 RF MEMS开关
第七章 RF MEMS滤波器
第八章 RF MEMS移相器
第九章 RF MEMS天线
第十章 RF MEMS封装
索引