压电薄膜材料与器件制备技术

 

基本信息： 

【作　者】张涛著 

【丛书名】学术专著·材料科学与工程 

【形态项】 191 

【出版项】 西安：西北工业大学出版社 , 2012.09 

【ISBN号】978-7-5612-3480-8 

【中图法分类号】TM22 

【原书定价】28.00 

【主题词】压电薄膜-压电材料-制备-压电器件 

【参考文献格式】 张涛著. 压电薄膜材料与器件制备技术. 西安：西北工业大学出版社, 2012.09. 

内容提要: 

本书主要内容分为两个部分。第一部分主要阐述与研究压电薄膜制制备技术，第二部分研究与压电薄膜直接相关的薄膜压电器件制备技术。