《纳米技术》PPT课件 王蔚 哈尔滨工业大学

 
课件内容： 
纳米技术基础知识（4学时） 
了解纳米科技概念，内涵，掌握纳米科技的基础理论知识。 
0 绪论  
1.1 纳米物质 
1.2 纳米物质基础理论 
1.3 纳米物质的理化特性 
纳米表征技术（6学时） 
了解纳米表征基础知识，掌握主要纳米检测表征技术。 
2.1 引言 
2.2 纳米检测技术的发展   
2.3 纳米检测方法特点及分类 
2.4 扫描电子显微技术 
2.5 扫描探针显微技术 
2.6 扫描探针纳米加工技术 
SEM应用实验（0.25） 
纳米材料制备技术（6学时） 
了解纳米材料基础知识，掌握超微颗粒，纳米管、膜、块体的制备方法，为应用纳米材料打好基础。 
3.1 定义、分类与应用 
3.2 超微颗粒的制备与应用 
3.3 富勒烯、纳米碳管、石墨烯 
3.4 纳米薄膜的制备与应用 
3.5 纳米块体材料及其制备 
纳米结构构筑（上）（4学时） 
了解基于IC工艺的纳米结构构筑技术，掌握纳米电路、器件工艺基础。 
4.1 纳米膜及超晶格技术 
4.1.1外延技术 
4.1.2CVD纳米膜技术 
4.1.3PVD纳米膜技术 
4.2 纳米光刻技术  
4.2.1光刻简介 
4.2.2光刻工艺 
4.2.3光刻版和光刻胶 
纳米结构构筑（下）（4学时） 
了解纳米结构构筑技术，掌握纳米结构、器件工艺基础。 
4.2.4刻蚀技术 
4.3 纳米压印技术 
4.4 模板合成技术 
4.5 自组装技术 
纳米器件（上）（4学时） 
了解固态纳米电子器件基础知识，为研发相关纳米器件打好基础。 
5.1 固态纳米电子器件 
5.1.1 概述 
5.1.2 纳米电子器件基础 
5.1.3 共振隧穿器件 
5.1.4 单电子器件 
5.1.5 碳纳米管（线）场效应晶体管 
学生报告展示 
纳米器件（下）（4学时） 
了解纳米分子电子器件、光电器件、磁性器件基础知识，为研发相关纳米器件打好基础。 
5.2 分子电子器件 
5.3 纳米光电器件 
5.4 纳米磁性器件 
学生报告展示