微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 纳机电系统 高清晰可复制文字版
作者：（法）劳伦·特拉夫格
出版时间：2018
内容简介
《纳机电系统》介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺，为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。
《纳机电系统》针对性强、内容精练，非常适合对MEMS、NEMS这一特定话题感兴趣的读者阅读，同时也适合MEMS、NEMS技术人员和设计人员使用，可供MEMS、NEMS专业的高年级本科生和研究生参考。
目录
译者序
原书前言
物理常数
物理量
第1章 从MEMS到
1．1 微纳机电系统：概述
1．2 小结
第2章 纳米尺度上的转导与噪声的概念
2．1 机械传递函数
2．2 转导原理
2．2．1 纳米结构的驱动
2．2．2 检测
2．3 自激振荡与噪声
2．4 小结
第3章 NEMS与其读出电路的
单片集成
3．1 简介
3．1．1 为什么要将NEMS与其读出电路进行集成
3．1．2MEMS-CMOS与NEMS-CMOS之间的区别
3．2 单片集成的优势与主要途径
3．2．1 集成方案及其电气性能的比较
3．2．2 闭环NEMS-CMOS振荡器：构建基于NEMS的频率传感器的必不可少的组成模块
3．2．3 从制造技术的角度概述主要成就
3．3 从转导的角度对一些显著成就的分析
3．3．1 电容式NEMS-CMOS的案例
3．3．2 压阻式NEMS-CMOS的案例
3．3．3 替代途径
3．4 小结与未来展望
第4章 NEMS与尺度效应
4．1 简介
4．1．1 固有损耗
4．1．2 外部损耗
4．2 纳米结构中的近场效应：卡西米尔力
4．2．1 卡西米尔力的直观解释
4．2．2 问题
4．2．3 两个硅板之间卡西米尔力的严格计算
4．2．4 纳米加速度计内卡西米尔力的影响
4．2．5 本节小结
4．3 “固有”尺度效应的示例：电传导定律
4．3．1 电阻率
4．3．2 压阻效应
4．4 光机纳米振荡器和量子光机
4．5 小结
第5章 结论与应用前景：从基础物理到应用物理
附录
附录A 针对纳米线的“自下而上”和“自上而下”制造工艺
A．1 “自下而上”制造
A．2 “自上而下”制造
附录B 卡西米尔力详述
参考文献