薄膜材料科学 第二版

 

基本信息： 

【作　者】（美）奥林著 

【形态项】 484 

【出版项】 北京：国防工业出版社 , 2013.02 

【ISBN号】978-7-118-08144-2 

【中图法分类号】TB383 

【原书定价】188.00 

【主题词】薄膜-工程材料 

【参考文献格式】 （美）奥林著. 薄膜材料科学 第2版. 北京：国防工业出版社, 2013.02. 

内容提要: 

本书详细介绍了薄膜材料科学的各个方面，内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛，资料全面，是一本薄膜材料科学领域的权威之作。