本文件规定了功率器件用Φ150mm n 型碳化硅（SiC）衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。适用于经抛光后制备的Φ150mm n 型 SiC 衬底，晶型为 4H。标准编号：SJ/T 11865-2022
标准名称:功率器件用Φ150 mm n型碳化硅衬底
标准状态：现行
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-01-01
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
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