YY/T 0176-2006 医用剪通用技术条件

本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。标准编号：GB/T 20176-2006 
标准名称:表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度 
英文名称:Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials 
标准状态：现行 
发布日期：2006-03-27 
实施日期：2006-11-01 
采标情况：IDT ISO 14237:2000 
发布部门：国家标准化管理委员会 
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会 
起草人：查良镇、陈旭、王光普、黄雁华、黄天斌、刘林、葛欣、桂东 
起草单位：清华大学电子工程系