MEMS材料与工艺手册

 

基本信息： 

【作　者】（美）格迪斯，（美）林斌彦著 

【丛书名】微纳系统系列译丛 

【形态项】 966 

【出版项】 南京：东南大学出版社 , 2014.03 

【ISBN号】978-7-5641-4053-3 

【中图法分类号】TN4-62 

【原书定价】198.00 

【主题词】微电子技术-生产工艺-手册-电子材料 

【参考文献格式】 （美）格迪斯，（美）林斌彦著. MEMS材料与工艺手册. 南京：东南大学出版社, 2014.03. 

内容提要: 

微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。