纳米和微电子机械系统

基本信息： 

MicroWriter激光直写系统可实现15路激光同步书写，无需掩模板，，最高分辨率0.6um.速度达375mm2/min，基片尺寸1mm~230mm，高性价比，灵活，快速。适合微电子，半导体等研