国际制造业先进技术译丛 微制造与纳米技术 高清晰可复制文字版

国际制造业先进技术译丛 微制造与纳米技术 高清晰可复制文字版 
作者：N.P.Mahalik 编 
出版时间：2015 
丛编项：国际制造业先进技术译丛 
内容简介 
　　《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。 
目录 
译丛序言 
译者的话 
前言 
第1章导论 
11背景介绍 
12概述 
121精密工程 
122微铣削和微型钻孔 
13微机电系统 
14微电子制造方法 
141体微加工 
142表面微加工 
15微型化仪器 
16微机械电子 
17纳米修整 
18光变图像 
19微能源和化学系统 
110空间微推进 
111电子束纳米印刷 
112纳米技术 
113碳纳米管及其结构 
114分子逻辑门 
115纳米尺度生物传感器 
116C60及其衍生物的化学 
交联 
117燃料电池 
118参考文献 
第2章微机电系统与微光机电 
系统原理21概述 
22执行器的驱动原理 
23制造工艺 
24机械微机电系统 
241机械传感器 
242加速度计、悬臂式 
传感器和电容测量 
243扬声器 
244陀螺仪 
245机械执行器 
25热微机电系统 
251计温学 
252数据存储应用 
253微型加热器气体 
传感器 
254热执行器 
26磁微机电系统 
27微光机电系统 
28空间光调制器 
29数字微镜设备 
210光栅光阀（GLV） 
211参考文献 
第3章微制造中的激光技术 
31概述 
32激光的产生 
33激光的特性 
331单色性 
332方向性 
333亮度 
334相干性 
335空间分布 
336时间脉冲波形 
34激光应用 
35微加工中的激光技术 
微制造与纳米技术目录351背景 
352激光的吸收和反射 
353应用技术基础 
36参考文献 
第4章激光干涉仪几何误差 
软补偿41概述 
42几何误差校正概述 
421误差测量系统 
422精度评价 
43几何误差补偿方法 
431几何误差查找表 
432几何误差参数模型 
44实验结果 
441误差近似 
442线性误差 
443直线度误差 
444角度误差 
445垂直度误差 
446评价 
45小结 
46参考文献 
第5章体微加工中的蚀刻工艺 
表征51概述 
52体微加工的发展历史 
53湿法体微加工（WBM） 
54晶体学及其影响 
55硅作为基板与结构材料 
551硅作为基板 
552硅作为结构材料 
553应力与应变 
554硅的热力学性质 
56湿法蚀刻流程 
561各向同性蚀刻剂 
562反应现象 
563各向同性蚀刻曲线 
564掩膜 
565依赖型掺杂蚀刻剂 
57各向异性蚀刻 
571各向异性蚀刻剂 
572各向异性蚀刻剂 
掩膜 
58蚀刻控制：停止技术 
581硼扩散蚀刻停止 
582电化学蚀刻自停止 
技术 
583薄膜与绝缘硅蚀刻 
停止 
59体微加工中蚀刻存在的 
问题 
591基板面消耗 
592角补偿 
510小结 
511参考文献 
第6章表面微加工和晶片粘合 
工艺的特点61概述 
62光刻工艺 
63表面微加工 
64表面微加工工艺特点 
641隔离层 
642牺牲层 
643结构材料 
644选择性蚀刻 
65特性 
651附着力 
652应力 
653黏滞 
66晶片键合 
661阳极键合 
662融化键合 
67小结 
68参考文献 
第7章文件安全领域微加工： 
光变图像71引言 
72概述 
73光变图像箔微结构 
731防伪全息图 
732KinegramTm技术 
733CatpixTm电子束光刻微 
结构 
734结构稳定性 
735PixelgramTM调色 
概念 
736基于ExelgramTM轨道 
的光变图像微结构 
737隐蔽图片显微图像 
安全特征 
738KinegramTM和ExelgramTM 
的比较 
739VectogramTM图像多路 
复用技术 
7310间隙刻槽单元 
调制 
74通用的光变图像微结构 
741光变油墨技术 
742衍射数据箔 
743生物识别光变图像 
技术 
75光学图像单元编码表面纳米 
制造 
751微镜光变图像 
752微镜光变图像的 
起源 
753微镜光变图像光学效应 
总结 
76小结 
77参考文献 
第8章纳米修整技术 
81概述 
82传统加工工艺 
821研磨 
822抛光 
823珩磨 
83高级修整工艺（AFPs） 
831磨料流加工 
（AFM） 
832磁力研磨（MAF） 
833磁流变加工 
（MRF） 
834磁流变磨料流修整 
（MRAFF） 
835磁悬浮抛光 
（MFP） 
836弹性喷射加工 
（EEM） 
837离子束加工 
（IBM） 
838化学机械抛光 
（CMP) 
84参考文献 
第9章微纳米技术在空间微推进 
系统中的应用91概述 
92微型化航天器微推动的子 
系统和设备 
93推进系统 
931固体推进剂 
932冷气体 
933胶体推进器 
934热气体 
935单组元和双组元推进 
系统 
936再生加压循环 
937姿态调整与控制 
系统 
94冷气体微推进器的实现 
941气体和流体动力学 
942原型设计 
95小结 
96参考文献 
第10章碳纳米管的制造和应用： 
纳米技术基础101概述 
102纳米技术和碳纳米管 
的前景 
103碳纳米管的研究进展 
104碳纳米管的结构 
和属性 
105碳纳米管的制备 
1051化学气相沉积 
1052电弧放电 
1053激光烧蚀 
1054生长机理 
1055碳纳米管提纯 
106碳纳米管的应用 
1061场效应管中碳纳米管 
的电子输运 
1062在计算机中的 
应用 
1063基于碳纳米管的纳米 
器件在生物医学中的 
应用 
1064X射线仪 
1065基于碳纳米管的纳米 
机械执行器和人工 
肌肉 
1066燃料电池 
1067膜电极组 
1068基于CNTs的双极板 
机械和电气强化 
1069在碳纳米管中 
储氢 
107参考文献 
第11章碳基纳米结构 
111概述 
112富勒烯的历史 
113碳纳米管的结构 
（CNTs） 
1131Y形 
1132双螺旋形 
1133竹节形 
1134分层结构 
1135环形多壁碳 
纳米管 
1136圆锥端帽形多壁碳纳 
米管 
114富勒烯的结构 
1141C48富勒烯结构 
1142环形富勒烯 
1143C60、C59、C58、C57 
的结构 
1144较小的富勒烯C50 
115碳纳米球（CNBs）的 
结构 
116碳纳米纤维（CNFs）的 
结构 
1161六边形碳纳米 
纤维 
1162锥形碳纳米纤维 
1163螺旋形碳纳米 
纤维 
117多孔碳 
118碳纳米结构的性质 
1181分子性质 
1182电子性质 
1183光学性质 
1184力学性能 
1185周期性 
119合成 
1191碳纳米管 
1192富勒烯 
1193碳纳米球 
1194碳纳米纤维 
1110碳纳米结构的应用 
前景 
11101能量存储 
11102储氢 
11103嵌锂 
11104电化学超级电容 
11105碳纳米管的分子电 
子学 
1111复合材料 
1112小结 
1113参考文献 
第12章分子逻辑门 
121概述 
122逻辑门 
123荧光分子逻辑电路 
124组合逻辑电路 
125可重构分子逻辑 
126基于分子逻辑门 
的吸收 
127分子逻辑门：导电 
128小结 
129参考文献 
第13章用于生物传感器的纳米 
力学悬臂装置131概述 
132原理 
133静态变形法 
134共振模式法 
135热检测法 
136微型品制造 
1361硅基悬臂 
1362压阻式集成悬臂 
1363压电式集成悬臂 
137测量和输出技术 
1371光学法 
1372干涉测量法 
1373压阻法 
1374电容法 
1375压电法 
138生物传感 
1381DNA探测 
1382蛋白质检测 
1383细胞检测 
ⅩⅧ微制造与纳米技术目录ⅩⅦ139小结 
1310参考文献 
第14章微型能源和化学系统 
（MECS）和多尺 
度制造141概述 
142微能源和化学系统 
（MECS） 
1421MECS器件的物质与 
热量传递 
1422MECS技术的 
应用 
143MECS制造 
1431困难与挑战 
1432特征尺寸 
1433微层压技术 
144微层压技术的尺寸 
控制 
1441图形化对微通道阵列 
性能的影响 
1442理论 
1443微通道加工 
1444试验结果 
145微通道阵列中的 
翘曲源 
1451分析 
1452试验结果 
146配准与粘接对微通道阵列 
性能的影响 
147微通道阵列的几何 
约束 
148微层压技术的经济 
价值 
149参考文献 
第15章雕塑薄膜 
151概述 
152雕塑薄膜的生长 
1521实验和现象 
1522计算机模拟 
153光学特性 
1531理论 
1532特征行为 
154应用 
1541光学 
1542化学 
1543电学 
1544生物学 
155小结 
156参考文献 
第16章电子束蚀刻技术与纳米装 
配——精密化学 
工程161概述 
162电子束辐射 
1621聚合物材料 
1622分子材料 
163自组装单层膜 
164结语和展望 
165参考文献 
第17章倏逝近场纳米光刻 
技术171概述 
172发展历史 
173ENFOL技术原理 
174掩膜的制作和要求 
175图案形成 
1751曝光条件 
1752光刻胶要求 
1753克服衍射极限 
176图案转移 
1761减法图案转移 
1762加法图案转移 
177模拟 
1771模拟方法和模型 
1772强度分布 
1773场深度（DOF） 
1774边界强化带来的曝光 
差异 
178表面等离子体纳米 
光刻 
1781倏逝干涉光刻技术 
（EIL） 
1782平面透镜光刻技术 
（PLL） 
1783表面等离子体增 
强接触式光刻 
（SPECL） 
179小结 
1710参考文献 
第18章纳米技术在燃料电池上 
的应用181现状与需求 
182多相催化中的纳米 
粒子 
183碳载体铂催化剂的氧化 
电解还原反应 
184碳纳米管载体催化剂 
185小结 
186参考文献 
第19章碳纳米管与胺衍生：一种 
无溶剂技术191概述 
192实验设计 
193氧化单壁碳纳米管管 
端羧基功能团的直 
接酰胺化 
194原始多壁碳纳米管端帽和 
壁缺陷直接胺加成 
195小结 
196参考文献 
第20章C60薄膜中化学交联 
201概述 
202实验 
ⅩⅩ微制造与纳米技术目录ⅩⅨ2021分析仪器 
2022富勒烯薄膜沉积 
2023与(1,8)辛二胺 
反应 
203结果与讨论 
2031(1,8)辛二胺衍生C60 
粉末 
2032(1,8)辛二胺衍生 
C60薄膜 
204小结 
205参考文献