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磁悬浮平面电机驱动及控制技术

磁悬浮平面电机驱动及控制技术  
作 者:张生果 著 
出版时间:2015 
内容简介 
  《磁悬浮平面电机驱动及控制技术》论述了磁悬浮平面电机相关的基本理论和基本技术。重点阐述了磁悬浮平面电机的电气驱动技术和六自由度运动控制技术。《磁悬浮平面电机驱动及控制技术》侧重于基本理论和基本技术实现方法的阐述,面向基本理论和基本技术的实际工程应用。 
目录 
前言 
第1章绪论1 
1.1磁悬浮平面电机应用背景及研究意义1 
1.1.1IC制造装备技术发展及其对平面工作台运动驱动系统的要求1 
1.1.2其他技术领域对平面电机运动系统的要求4 
1.1.3磁悬浮平面电机驱动及控制技术的研究意义5 
1.2磁悬浮平面电机典型结构及基本工作原理6 
1.3磁悬浮平面电机六自由度运动特性及基本驱动方法11 
1.3.1六自由度运动特性11 
1.3.2六自由度运动基本驱动方法11 
1.4磁悬浮平面电机多自由度运动控制方法14 
1.5国内磁悬浮平面电机研究状况20 
1.6磁悬浮平面电机研究现状及研究方法小结22 
1.7本书研究的问题和研究内容23 
1.7.1研究问题的提出23 
1.7.2研究内容25 
第2章电磁力/矩建模27 
2.1引言27 
2.2永磁阵列磁场解析模型建立及验证28 
2.2.1永磁阵列磁场建模28 
2.2.2永磁阵列磁场解析模型实测验证31 
2.3基于DQ变换的电磁力/矩建模及电流求取37 
2.3.1单个力单元电磁力/矩建模及线圈电流求取方法37 
2.3.2四个力单元电磁力/矩建模及线圈电流求取方法39 
2.3.3基于DQ变换的电磁力/矩模型及线圈电流求取法则讨论44 
2.4基于洛伦兹力积分法则的电磁力/矩建模及模型验证45 
2.4.1电磁力/矩建模45 
2.4.2电磁力/矩模型实验验证50 
2.4.3电磁力/矩模型与实测力/矩误差来源分析56 
2.5小结60 
第3章电气驱动——线圈阵列换流方法62 
3.1引言62 
3.2基于电流最小2范数的线圈阵列换流方法63 
3.2.1基于电流最小2范数的线圈阵列换流方法63 
3.2.2换流仿真及结果分析64 
3.3基于电流∞范数有界的线圈阵列电流优化换流方法67 
3.3.1基于电流∞范数有界的线圈阵列电流优化换流方法的原理67 
3.3.2基于电流∞范数有界的线圈阵列电流优化换流方法的解析算法68 
3.3.3基于电流∞范数有界的线圈阵列优化换流方法的数值稳定性70 
3.3.4基于电流∞范数有界的线圈阵列优化换流方法的仿真分析72 
3.3.5基于电流∞范数有界的线圈阵列优化换流方法的实验验证76 
3.4线圈阵列热损耗均匀化81 
3.4.1线圈阵列热损耗均匀度?电流均匀度及均匀化方法81 
3.4.2线圈阵列热损耗均匀化仿真分析83 
3.5平面电机推动力的提高92 
3.5.1最大力/矩(加速度)约束问题92

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