微制造与纳米技术

微制造与纳米技术  
作　者：N.P.Mahalik 编；蔡艳，吴毅雄 等 译 
出版时间：2015 
丛编项：国际制造业先进技术译丛 
内容简介 
　　《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。 
目录 
译丛序言 
译者的话 
前言 
第1章导论 
11背景介绍 
12概述 
121精密工程 
122微铣削和微型钻孔 
13微机电系统 
14微电子制造方法 
141体微加工 
142表面微加工 
15微型化仪器 
16微机械电子 
17纳米修整 
18光变图像 
19微能源和化学系统 
110空间微推进 
111电子束纳米印刷 
112纳米技术 
113碳纳米管及其结构 
114分子逻辑门 
115纳米尺度生物传感器 
116C60及其衍生物的化学 
交联 
117燃料电池 
118参考文献 
第2章微机电系统与微光机电 
系统原理21概述 
22执行器的驱动原理 
23制造工艺 
24机械微机电系统 
241机械传感器 
242加速度计、悬臂式 
传感器和电容测量 
243扬声器 
244陀螺仪 
245机械执行器 
25热微机电系统 
251计温学 
252数据存储应用 
253微型加热器气体 
传感器 
254热执行器 
26磁微机电系统 
27微光机电系统 
28空间光调制器